SETCAS Spin Coate 旋轉塗布機
【商品介紹】
- 英文叫Spin Coater或者Spin Processor,又稱:旋塗儀、旋塗機、甩膠機、勻膠臺、旋轉塗膠機、旋轉塗膜機、旋轉塗層機、旋轉塗布機、旋轉薄膜機、旋轉塗覆儀、旋轉塗膜儀、勻膜機。
- KW系列勻膠機適應於半導體矽片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝,製版的表面塗覆。
- 產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點,並能保證半導體材料中塗膠厚度的一致性和均勻性。
- 通常配無油真空泵一起使用。
【商品說明】
KW-4Q型勻膠機(300mm)
- 帶進膠保護與報警
- 吸附不足報警與互鎖
- 電機可正反轉
- 帶Modbus-RTU通信介面
- 可接滑鼠鍵盤
- 配方帶掉電保護功能
- 帶腳踏開關
- 基片尺寸:200-300mm
- 速度範圍:1-6000RPM
- 轉速精度:1RPM
- 轉速穩定度:±0.1%
- 加速度範圍:1-1000RPM/S
- 塗膠顯影模組:4路(0-90°可編程擺臂)
- EBR:2路(表面半徑可編程一路,背面一路)
- 膠均勻性:±1%
- 人機介面:8寸觸摸屏
- 通信介面:USB(標配)/RS485(標配)/藍牙(選配)
- 觸控筆:BAMBOO電阻筆(標配)
- 第三方選配件:羅技無線滑鼠/無線鍵盤/金士頓2G盤
- 真空泵:SC-550V無油泵
- 配方:無限組數據,每組15段轉速
- 每段時間:0-10000秒
- 存儲數據:無限組數據
- 數據保護:默認帶掉電保護功能
- 旋轉方向:可正反轉
- 勻膠機交流供電口:AC100-250V
- 真空泵交流供電口:AC220V(標配) AC110V(選配)
- 勻膠機功率:2KW
- 真空泵功率:350W
- 真空泵抽速:≥60L/MIN
- 勻膠機體積:550mm(W)X550mm(D)X350mm(H)
- 勻膠機重量:50KG
- 泵重量:9KG
- 使用環境溫度:0-40℃
- 相對濕度:< 85%
- 放置於桌面:可通過自帶水平儀調節機器水準
- 包裝:1台/箱 (每台機器兩個箱子,勻膠機一箱,真空泵一箱)
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